【News586/記者張淑慧報導】你是否知道，「音叉共振」與「摩擦力」這些日常生活中的物理現象，竟然與尖端的半導體技術緊密相連？國立高雄大學應用物理學系副教授余進忠攜手高雄市楠梓高中教師蘇文健，透過一系列實作課程，帶領學生深入探索如「奈米級薄膜量測」與「黃光微影」等半導體製程的核心技術。這些豐碩的學習成果將於本週四（22日）在「2025高雄教育節」隆重展出，誠摯邀請民眾前往「駁二蓬萊B6倉庫半導體展區」，共同見證物理知識如何引領科技未來的無限可能。
余進忠表示，由於台積電晶圓22廠落腳高雄楠梓區，帶動鄰近高中、大學相繼開設半導體相關課程，高雄大學秉持在地共榮共好精神，並在「高教深耕計畫」經費支持，自2024年起，他接受楠梓高中校長郝靜宜邀請，協助開設「半導體製程探究與實作課程」及規劃「半導體實驗室」，並搭檔該校教師蘇文健共同授課。
余進忠說明，課程重點在於引導學生運用108課綱所學，理解半導體製程的實際現象。例如在鍍膜過程中，奈米級薄膜的厚度可由晶體共振頻率變化判定。他設計「音叉共振實驗」，結合手機APP與磁鐵模擬沉積質量變化，能感測0.02克變化，使學生從實作中掌握物理原理與製程關聯。
又如，半導體中的「黃光微影」製程，課程以光固化溶液為材料，搭配紫外光曝光與祥儀慈善文教基金會贊助的「科技寶積木式自製旋鋪機」，模擬光阻塗佈與固化。學生並運用摩擦力原理推導黏滯行為，再透過「膜厚量測」驗證「旋鋪模型」。余進忠指出，這些探究式實驗體現108課綱的跨域統整與實作精神，讓學生不只深化物理概念，更實際銜接高科技應用。
楠梓高中校長郝靜宜表示，感謝高雄大學副教授余進忠，與校內教師夥伴蘇文健、鄭夙芬及行政團隊，共同完成實驗室建置與課程推展。實驗室目前設備完備，包括頻率產生器、旋轉塗布機、抽氣幫浦、曝光機等，已能進行共振膜厚偵測、晶圓酸洗、光阻塗佈、抽真空、曝光顯影與蝕刻等多項基礎製程實驗。
郝靜宜說，楠梓高中自兩年前開設「數理實驗班」，結合理論與實作，培養學生邏輯思維與科學探究能力，並因應AI與半導體產業趨勢，轉型設立「AI半導體專班」，強化與大學合作，讓學生提前接觸前沿科技。科技教育須向下扎根，楠中致力打造符合未來趨勢的學習環境，讓學生在高中階段即可實作半導體實驗，奠定升學與職涯基礎。此次半導體實驗室的建置，不僅升級校內資源，更實質推動中等教育與產業接軌。(圖/ 記者翻攝)
