方均科技公司張均豪執行長、陳泰宏研發經理與ParyleneCVD鍍膜設備
【News586/記者張淑慧報導】國家科學及技術委員會南部科學園區管理局轄下臺南園區、高雄園區及橋頭園區今（111）年截至12月20日止，總計引進30家廠商，累計投資金額為新臺幣570.7905億元，園區有效核准廠商家數為272家，本次通過核准入區投資之申請案說明如下：
方均科技股份有限公司申請於南科臺南園區投資設立，投資金額為新臺幣0.5億元，提供功能性奈米鍍膜服務，以及客製化奈米鍍膜化學氣相沉積設備之開發，產品主要應用於半導體及光電產業。方均科技為工研院衍生的新創公司，於工研院15年來累積奈米鍍膜製程設備技術，並掌握耐高電壓與高操作溫度之Low-K先進鍍膜材料-八氟[2,2]二聚對二甲苯(Parylene-AF4)，整合硬體設備、軟體程式、材料應用及製程，提供完整的技術解決方案，除可精準控制鍍膜厚度、減少製程時間外，還能達到良好均勻性及重現性，已成功切入國內大型面板廠及國內外半導體廠，未來進駐南科臺南園區後，可就近服務園區廠商，將有助於提升園區產業競爭力。
(圖/ 國家科學及技術委員會科學園區 提供)
